Производитель: Россия
Упаковка: 29 кг (40 литровый баллон)
ТУ 301-14-78-92 с изм. № 1, 2, 3, 4
Химическая формула : СF4
Применение
Для получения температуры -1200 — -1500С
Стабилизатор разложения озона и ингибитор пламени
Реагент для сухого травления при изготовлении СБИС